中・小型チェンバー
中型チェンバー１基と小型チェンバー２基が設置されています。
本体：
中型チェンバー：直径100cm、長さ200cmのステンレス製円筒型真空槽
小型チェンバー：直径60cm、長さ100cmのステンレス製円筒型真空槽
到達真空度：約1×10-6 Torr (1.3×10-4 Pa)
プラズマ源：
後方拡散型プラズマ源：プラズマ密度104〜106cm-3、電子温度0.1〜3eV
ダブルプラズマ装置：電子密度108〜109cm-3、電子温度約1eV
中・小型チェンバー
中型チェンバー１基と小型チェンバー２基が設置されています。
本体：
中型チェンバー：直径100cm、長さ200cmのステンレス製円筒型真空槽
小型チェンバー：直径60cm、長さ100cmのステンレス製円筒型真空槽
到達真空度：約1×10-6 Torr (1.3×10-4 Pa)
プラズマ源：
後方拡散型プラズマ源：プラズマ密度104〜106cm-3、電子温度0.1〜3eV
ダブルプラズマ装置：電子密度108〜109cm-3、電子温度約1eV